LAM 2300 Versys Kiyo 45 300mm
LAM 2300 Versys Kiyo 45 300mm
我們提供 LAM 2300 Versys Kiyo 45 300mm 系統的完整翻新與技術支援服務。此高密度等離子蝕刻系統專為先進圖案化製程設計,具備精確的各向異性蝕刻能力、卓越的關鍵尺寸(CD)控制與高深寬比結構處理能力,特別適用於先進製程節點中的關鍵蝕刻步驟。Kiyo 45 採用先進的等離子源技術與靈活的製程設計,能在嚴苛的量產環境中維持高良率與圖形保真度。我們的翻新服務可全面恢復設備性能,提升系統可靠性與製程一致性。
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