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直流/射頻電源與阻抗匹配器在半導體產業中扮演關鍵角色,確保電力高效傳輸與製程穩定性。透過阻抗匹配,可降低功率損耗、防止系統異常,並維持等離子體的均勻性。這有助於穩定產品品質、降低缺陷率與設備損耗,因此對於確保可靠的半導體製造流程至關重要。

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