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線上量測系統

晶圓檢測與在線量測服務

在高葉,我們提供完整的半導體製程控制 3D 結構驗證及晶圓檢測量測服務。利用光源驅動技術,我們的解決方案能以奈米級精度測量晶圓表面形貌、關鍵尺寸、薄膜厚度及對位情況。

我們的非接觸專利檢測方法可捕捉即使是最微小及埋藏的特徵,適用於空氣及水環境,確保操作人員接觸最少、高產能及一致重複性。我們提供厚度測量、薄膜均勻性繪圖及表面形貌分析,專為 200mm 及 300mm 生產線量身打造。

從前段製程(FEOL)到先進封裝,我們的 3D 驗證確保每一層半導體裝置都與設計規範完全對位。透過將看不見的變成可測量,我們提供驅動下一代半導體創新的關鍵洞察。

 
 

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