GNS 3000 擴散爐
GNS 3000 擴散爐
GNS 3000 擴散爐專為 300mm 晶圓代工廠的精密熱處理而設計,確保溫度均勻控制、高產能與優異的製程重複性,適用於擴散、氧化及退火等應用。具備可客製化功能,提升生產效率的同時維持高品質標準,滿足半導體製造嚴苛的需求。
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GNS 3000 擴散爐專為 300mm 晶圓代工廠的精密熱處理而設計,確保溫度均勻控制、高產能與優異的製程重複性,適用於擴散、氧化及退火等應用。具備可客製化功能,提升生產效率的同時維持高品質標準,滿足半導體製造嚴苛的需求。
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