半導體石墨零件與組件
高葉提供適用於半導體及相關高溫製程的特殊石墨零件與製程組件，應用涵蓋 PECVD、離子植入、磊晶、電漿蝕刻、SiC 晶體生長及石英製造。
石墨等級與零件需求可依據應用、圖面及指定材料特性進行評估。如需進行尺寸驗證，可使用蔡司量測設備，依據現有圖面與規格檢測可量測特徵。
石墨應用與組件
01
PECVD 組件
提供適用於 PECVD 相關應用的石墨組件。
02
石墨舟與燒結模具
提供用於玻璃封裝的石墨舟，以及燒結應用的石墨模具。
03
離子植入、磊晶與電漿蝕刻
石墨零件應用於離子植入、LED、磊晶及電漿蝕刻製程。
04
石墨坩堝
提供用於 SiC 晶體生長及光纖相關應用的石墨坩堝。
05
石英製造組件
用於石英製造製程的石墨組件。
06
石墨加熱管
提供適用於分析儀器應用的石墨加熱管。
石墨選材考量
01
純度
石墨等級可依據應用所需的純度要求進行評估。
02
熱導率
熱特性可依據操作環境及零件功能進行評估。
03
機械強度
材料強度可依據幾何形狀、搬運方式及應用需求進行評估。
04
密度
如應用有指定要求，石墨密度將作為材料等級選擇的考量之一。
石墨零件需求
01
圖面或樣品
請提供現有圖面、尺寸資訊或參考樣品，以供評估。
02
石墨等級
如有相關資料，請提供已知石墨等級或所需材料特性。
03
尺寸與特徵
請標示關鍵尺寸、公差、開孔、輪廓或其他零件特徵。
04
應用條件
如操作環境及應用需求屬於零件選擇條件的一部分，請提供相關資訊。
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