光電與半導體應用專用特級石墨
石墨零件:
- PECVD用石墨元件
- 用於玻璃封裝與燒結模具的石墨舟
- 用於離子植入、LED、外延與等離子蝕刻的石墨零件
- 用於碳化矽晶體與光纖製造的石墨坩堝
- 石英製造用石墨元件
- 分析儀器用石墨加熱管
我們專注於前端半導體設備用石墨製程套件的設計、客製化、安裝、測試與調試。這些套件經過特殊設計,可耐受離子植入及其他關鍵前段製程中的極端高溫與腐蝕環境。
這些系統中的石墨元件易於磨損,進而影響性能與可靠性。透過設計改良及根據純度、熱導率、機械強度與密度選擇最佳石墨等級,我們協助延長使用壽命並提升功能表現。
我們的客製化方案確保在嚴苛的半導體製造環境中具備耐用性與可靠性。
我們擁有豐富的技術知識與經驗,熟悉各種石墨材料的種類與等級。歡迎聯繫我們的專家,了解最適合您製造需求的石墨材料。
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