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我們提供用於前端半導體設備中晶圓搬運機器人的設計、翻新、客製化、安裝、測試及調試服務。

為提升效能,我們會對這些模組中的機器人系統進行設計優化,透過使用更高品質的元件來升級系統。這些改進可提升耐用性、可靠性及整體系統壽命。

我們提供:

  • 現場故障排除

  • 健康檢查

  • 評估

  • 維修/翻新

  • 品質測試

  • 現場安裝

  • 教導

  • 改良專案

GTS Replacement Parts

我們維修的品牌

為提升效能,我們會對這些模組中的機器人系統進行設計優化,透過使用更高品質的元件升級系統。這些改進可提升耐用性、可靠性及整體系統壽命。

TEL

東京電子

機器人

應用材料

Yaskawa

安川電機

Kawasaki-3NT510B

川崎重工業

Brooks-ATR8

布魯克斯

Brooks-PRI

布魯克斯-PRI

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