Nova Scan 3060 採用其專利的非接觸式氣中與水中厚度量測技術，能大幅減少清洗與乾燥後的人工操作與外部驗證需求。

3060 能夠針對先進半導體應用進行量測與圖樣繪製，精度可達 0.09 微米製程節點，協助半導體製造商順利將生產線從 200mm 升級至 300mm 規格。