AMAT VANTAGE RTP 300MM 提供業界領先的高生產力解決方案，專為大批量、大氣壓 RTP 應用設計。採用 Applied Vantage RadiancePlus RTP 系統，該設備結合了經過實證的低成本擁有（CoO）平台與 RTP 腔體技術。

透過硬體與溫度控制的優化，AMAT VANTAGE RTP 300MM 能夠為植入及其他退火製程帶來前所未有的脈衝退火均勻性。