AMAT Endura PVD 300mm
AMAT Endura PVD 300mm
AMAT Endura PVD 是 Applied Materials 的 300mm 物理氣相沉積平台，應用於半導體製造。高葉提供 Endura PVD 設備翻新、安裝、預防性維護、故障排除，以及特定零件與零組件支援。
AMAT Endura PVD 平台概覽
Applied Materials Endura 是用於物理氣相沉積（PVD）的半導體設備平台。在此製程中，材料會沉積於晶圓表面形成薄膜。
Endura 系統具有不同配置，因此個別設備的實際製程能力取決於其已安裝的模組與硬體。
高葉為希望持續使用既有設備的客戶提供 AMAT Endura PVD 300mm 設備翻新與現場服務支援。
製程應用
AMAT Endura PVD 系統可用於半導體製造中的薄膜沉積。實際製程能力取決於已安裝的系統配置。
物理氣相沉積
透過物理氣相沉積製程在半導體晶圓表面形成薄膜。
金屬薄膜沉積
用於半導體元件製造中的金屬薄膜沉積應用。
依配置而定的製程
特定 Endura 系統可支援的應用取決於該設備已安裝的腔體、模組及硬體。
零件與零組件支援
高葉提供多種半導體設備零件與零組件，以支援設備維護、維修及翻新。
測試與驗證
視專案需求，翻新設備及完成維修的組件可於交付或安裝前在我們的潔淨室中進行測試。
我們的設施可在模擬晶圓廠操作需求的受控條件下檢查設備功能與效能。最終驗證將依據雙方議定的翻新範圍與驗收標準進行。
交付前驗證
測試會依據設備狀況、已完成的工作及雙方議定的要求進行。
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