我們的 AMAT CMP REFLEXION 300MM 提供全面且高效能的平坦化解決方案。其高速平坦化平台與多區域拋光頭設計，能以低下壓力實現優異的均勻性與高效率。

設備配備最新乾燥技術，可徹底去除水痕缺陷與微粒污染，確保製程潔淨與可靠性。