我們提供 AMAT SEMVision G3/G4 的專業翻新服務，該系統是一款用於先進製程控制的高解析度電子束缺陷檢測設備。

SEMVision 專為 300mm 晶圓製造而設計，能對複雜晶圓結構提供高解析度成像，包括 3D 裝置及高長寬比特徵。系統結合自動缺陷檢測與智慧缺陷分類，加速根因分析、改善製程監控，並提升生產良率。

該系統適用於前端製程 (FEOL) 及後端製程 (BEOL) 的監控，透過將光學檢測與電子束層級細節結合，協助根因分析並提升良率。