半導體立式爐加熱器
高葉提供用於半導體熱製程設備之 TEL 與 Kokusai 立式爐加熱器型號的翻修支援。
支援範圍包括 TEL 300M 加熱器配置，以及 Kokusai Zestone 與 Quixace 加熱器型號。實際支援項目應依加熱器型號、配置及可取得的零件資訊進行確認。
TEL 300M 加熱器支援範圍
01
MICA Heater
02
BOH Heater
03
TEL Formula Heater
04
TEL Alpha-303i Heater
05
TEL High Temp Heater
VMU-54-001
06
TEL Mid Temp Heater
VMM-56-002
07
TEL FTPS
VOS-56-002 / VOS-56-003
08
Torch Heater
1187-149792-12 / 1187-149702-13, 14 / 1187-146257-15, 16
Kokusai 加熱器支援範圍
01
Zestone
Z3B / Z3C / Z5B
02
Quixace
QHT / QLN / QLV / QMN / Q2LN / Q2LV
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