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高葉自豪地展示我們在半導體解決方案服務方面的成長：我們在快速熱處理系統（FTPS）加熱器領域的先進能力。這些加熱器是快速升溫批次爐處理的關鍵推動者，廣泛應用於高效的前段半導體奈米製造。

在半導體製造過程中，受控熱處理至關重要。爐體用於處理半導體晶圓，透過精準控制加熱，完成薄膜沉積與成長、誘導化學反應、應力及形貌控制，以及修復因高能處理所產生的缺陷。

FTPS加熱器升溫速率可達每分鐘100°C，降溫速率則高達每分鐘60°C，提供更精準的表面反應控制；並允許在同一爐體中連續執行多個熱處理步驟。此快速熱響應縮短了製程週期時間，提高產能，並改善晶圓均勻性及電性能，且同時提供經濟高效的先進半導體解決方案。

我們已通過多家主要晶圓廠的認證，歡迎您諮詢我們的解決方案。