我們提供 Nova 計量系統的翻新與維修服務，該設備廣泛應用於半導體製程控制中。
Nova 工具利用專利的非接觸式技術，可在氣相與液相環境中進行高精度的薄膜厚度量測、均勻性映射與表面形貌分析。
其設計著重於降低操作人員干預並支援高產能運作，適用於 200mm 與 300mm 生產線的各種應用。

• 高葉專注於零件維修解決方案及品質管控。
• 所有維修／大修項目維修報告。
• 強烈建議提供客戶認證的晶圓作為驗收後使用。