TELINDY-Plus Furnace 300mm
TELINDY-Plus Furnace 300mm
TELINDY PLUS™ 是業界領先的等溫式大批量製程平台,專為氧化、退火與低壓化學氣相沉積(LPCVD)等關鍵半導體製程所設計。TELINDY PLUS™ 採用頂尖的熱壁反應爐技術,提供卓越的薄膜品質,同時維持極高的製程控制與批次穩定性。
此外,TELINDY PLUS™ 具備優化的架構設計,能最大化每平方英尺的晶圓處理量。自問世以來,TELINDY PLUS™ 持續進化,提升晶圓批次容量,並擴展製程應用至低溫原子層沉積(ALD)與等離子輔助沉積(TELINDY PLUS™ IRad™),以因應元件尺寸日益縮小的趨勢,全面支援先進晶片製造需求。
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