我們提供 Kokusai Quixace II 300mm 系統的翻新與技術支援服務。此高效能垂直式熱處理系統專為先進的化學氣相沉積（CVD）與擴散應用所設計，廣泛用於低壓 CVD（LPCVD）、氧化與退火等製程。Quixace II 可提供優異的薄膜均勻性、製程重現性與低微粒污染。其緊湊型、高通量設計支援 300mm 晶圓製程，具備精密的溫度控制，是前段（FEOL）與後段（BEOL）熱製程的可靠選擇。我們的翻新服務可全面恢復設備功能，確保穩定一致的製程表現。