我們提供 Hitachi CG4000 / 9380 300mm 高精度關鍵尺寸掃描電子顯微（CD-SEM）的翻新與維修服務。該系統專為先進半導體製造中的線上量測設計，能在300毫米晶圓上實現納米級的尺寸測量精度。CG 系列非常適用於光刻與蝕刻製程控制，具備高解析影像、自動圖案識別及關鍵尺寸監測功能，確保製程嚴密管控與高良率生產。