我們提供 AMAT Producer 300mm 平台的翻新與維護支援服務。該系統是一款多功能且高產能的設備，廣泛應用於先進半導體製造中的化學氣相沉積（CVD）與原子層沉積（ALD）工藝。Producer 以其模組化架構聞名，能支援低介電常數材料、氮化矽、氧化物填隙及超薄阻障層等多種應用，涵蓋前段製程（FEOL）及後段製程（BEOL）。

雙腔室設計與精準製程控制使 Producer 平台擁有卓越的薄膜均勻性、覆蓋性與良好的擴展性，滿足下一代製程節點需求。我們的服務確保設備性能恢復、提升運轉時間，並達到生產準備可靠度。